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저자정보
권의혁 (조선대학교) 송민관 (조선대학교) 주기남 (조선대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
35 - 35 (1page)

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산업계에서 널리 활용되고 있는 공초점 센서는 초점의 위치에 놓인 시편에서 반사되는 광량을 검출하여 시편의 높이를 측정하는 기술로, 수 마이크로미터 이하의 높은 측정 정밀도를 가진다. 그러나 이러한 공초점 센서는 시편의 높이에 따른 광량을 검출하기 위해 종축 방향의 구동을 필요로 하기 때문에 측정 시간이 오래 걸리는 동시에, 점측정 방식의 원리로 인하여 측정점의 위치를 확인하기 어려운 단점이 있다. 한편, 실시간으로 시편의 높이를 측정하기 위해 개발된 색 공초점 센서는 광학계에서 발생하는 색수차를 이용하여 초점 위치에 따른 반사광의 파장을 측정하고, 이를 통해 시편의 높이를 실시간으로 측정할 수 있다. 그러나 색 공초점 센서 역시 측정점의 위치를 확인하기 어려운 한계를 가진다. 본 연 ... 전체 초록 보기
#Chromatic confocal sensor #Vision #Geometrical phase lens #Chromatic aberration

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