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저자정보
정요한 (연세대학교) 조은환 (연세대학교) 김종백 (연세대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
99 - 99 (1page)

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자기장 센서는 감지 범위와 감도에 따라서 자동차 산업, 비파괴검사, 네비게이션 등 다양한 분야에서 활용되고 있으며, 특히 Micro-electro-mechanical Systems (MEMS) 자기장 센서는 소형화 및 경량화가 가능하여 가속도 및 각속도 센서 등 다른 시스템과의 결합이 용이하다. 자기장 센서는 정밀한 위치 제어에도 활용 가능한데, 정확한 위치 측정을 위해서는 다축 자기장 감지가 필요하다. 본 연구진이 설계 및 제작한 2 축 MEMS 자기장 센서는 정전기력으로 구동하는 편심형 공진기와 MEMS 구동부에 집적된 유도코일을 활용하여, 구동 모드에 따른 전자기 유도 감지 방식으로 면내(In-plane) 자기장 세기를 측정한다. 이러한 정전 구동 방식 센서에서는 기존 로렌츠 힘 기반의 MEMS 자기장 센서가 가지는 지속적인 여기 전류로^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10581675');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#MEMS #Magnetometer #Eccentricity #Electromagnetic induction

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