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자료유형
학술대회자료
저자정보
S. Hyun (한국기초과학지원연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
630 - 630 (1page)

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We report an interferometric measurement system for smooth freeform optics from the amount of sub-aperture surface profiles. The overall experimental system is composed of a 5-axis precision stage and a sub-aperture measuring interferometer, which is carefully calibrated to achieve 2nmRMS precision. The sub-aperture measuring interferometer adopts a broadband source in order to maximize the reliability of profile measurement, and a preliminary assumption of the overall surface is derived from the measured local 2nd derivat ... 전체 초록 보기
#Stitching interferometer #Sub-aperture #Freeform

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