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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
이태형 (동의대학교) 최두호 (동의대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
39 - 39 (1page)

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본 연구에서, 우리는 ZnO 증착 후 표면처리를 통해 ZnO 기판의 표면에 산소-결핍 및 산소-과다 영역을 형성하여 후속 증착되는 Ag의 성장 모드를 제어함으로써 ZnO/Ag/ZnO 박막의 성능을 조절하였다. 개질되지 않은 ZnO와 Ar, O 표면처리를 진행한 ZnO에 후속으로 Ag를 6nm 증착하였을 때, Ag의 wettability는 각각 82.09%, 94.95%, 59.17%임을 확인할 수 있었다. Ar 표면처리를 진행한 ZnO 위에 증착된 Ag층은 8nm에서 연속박막을 이루며 6.3 Ω sq-1의 면저항을 나타냈으며, 위 면저항 값은 표면처리 하지 않은 ZnO에 증착된 같은 두께의 박막과 비교하였을 때 약 20% 감소한 결과를 나타낸다. 이러한 결과는 표면처리가 ZnO 표면의 화학량론적인 변화에 영향을 준다는 것을 알려준다. 본 연구의 이 ... 전체 초록 보기

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