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남득현 (한국생산기술연구원) 윤성도 (한국생산기술연구원) 명윤 (한국생산기술연구원) 김가원 (한국생산기술연구원) 나찬웅 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
149 - 149 (1page)

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반도체 소자, 전자소자 및 양자소자의 발전에 따른 극저온 평가의 요구가 증가하고 있다. 또한 반도체 및 전기전자 소자 검사장비에서 극저온 척의 수요 증가하는데 이들은 금도금 구리를 이용하여 제작이 된다. 구리는 높은 전기전도도와 열전도도를 보유하고 있어 전자 부품의 배선 또는 전자부품 및 디스플레이 방열소재로 많이 이용되고 있다. 하지만 구리의 경우 산화에 취약한 특성을 보유하고 있어 시간이 지남에 따라 ... 전체 초록 보기

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