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저자정보
이대규 (전북대학교) 마상범 (한국생산기술연구원) 김성 (한국생산기술연구원) 김정열 (한국생산기술연구원) 강채동 (전북대학교) 김진혁 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국수소및신에너지학회 한국수소및신에너지학회논문집 한국수소 및 신에너지학회 논문집 제31권 제5호
발행연도
2020.10
수록면
480 - 488 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2023

반도체 칩 테스트 챔버 내부 온도 균일도 향상을 위한 가이드 베인 형상 최적화 해석
이대규 ,  정동열 ,  강채동 외 1명 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2023.07 학술대회자료
반도체 칩 장착 거치대를 갖는 시험 챔버 내부의 열 및 유동 특성 해석 연구
이대규 2023.01 학위논문

2021

반도체 칩 테스트용 챔버의 내부 유동 균일성 향상을 위한 설계 최적화
이대규 ,  마상범 ,  김성 외 3명 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2021.12 학술대회자료

2020

챔버 내부 유로변경에 따른 반도체 칩 테스터 내부 유동 균일성에 관한 수치적 연구
이대규 ,  마상범 ,  김성 외 3명 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2020.11 학술대회자료
반도체 칩 테스트용 챔버 형상에 따른 유동 균일성에 대한 수치적 연구
이대규 ,  마상범 ,  김성 외 3명 한국수소및신에너지학회논문집 2020.10 학술저널

초록· 키워드

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This study was conducted to improve the flow uniformity inside the chip tester through changing the flow path formation according to the inlet and outlet position of chamber. The internal flow and velocity distributions of the modified chamber models (Cases 1-3) were compared with the reference chamber model through three-dimensional Reynolds-averaged Navier-Stokes equations with k-ε turbulence model. The modified chamber models showed the superior flow uniformity characteristics compared to the reference chamber model. To investigate the flow uniformity in the chip tester, the standard deviation of the velocity was defined and compared. Through the internal flow analysis and assesment of the standard deviation, Case 2 among the test cases including the reference model showed the best flow uniformity generally.
#챔버(Chamber) #전산유체역학(Computational fluid dynamics) #반도체 테스트(Semi-conductor test) #유동 균일성(Flow uniformity)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 결과 및 검토
4. 결론
References

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
P. V. Zant / 2004 / Microchip fabrication / Mcgraw-Hill google schola 이광주 / 2010 / 반도체 검사 장비의 챔버 내부 온도 분포의 균일성 개선 / 한국산학기술학회논문지 11(10):3626~3632 dbpia M. Sweetland / 2001 / Rapid IR heating of electronic components in the testing cycle / Proceedings of 35th National Heat Tranfer Conference google schola K. Fukumoto / 1999 / Constant temperature chamber in a handler for semiconductor device testing apparatus / U.S. Patent No. 5,859,540 google schola A. C. Pfahnl / 2000 / Method and apparatus for temperature control of a semiconductor electrical-test constractor assembly / U. S. Patent No. 6,091,062, 2000 google schola

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유동해석을 통한 유체제어벨브 시스템의 내부 유동 특성 분석
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