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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
윤민식 (성균관대학교) 김윤제 (성균관대학교)
저널정보
한국유체기계학회 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2021년 한국유체기계학회 하계학술대회
발행연도
2021.7
수록면
131 - 136 (6page)

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Over the past few decades, investigations on a dual-fluid nozzle for a wafer cleaning process have been actively conducted. Especially, developments of the dual-fluid nozzle using a numerical analysis is attracting many researchers. A validation study, importantly, is fundamental procedure during the numerical analysis to investigate the atomization phenomenon. A phase doppler particle analyzer (PDPA) is commonly applied to analyze the atomization characteristics, including the Sauter mean diameter (SMD) and mean velocity of the droplets. In this paper, optimization using a multi-objective genetic algorithm (MOGA) was conducted to determine the most suitable empirical values to use the discrete phase model (DPM) during the numerical analysis. For the parameter variables, the sheet, ligament, droplet diameter, and breakup time constant, were selected. Also, the SMD and mean velocity of the droplets were considered as objective functions. Consequently, the most suitable values of the sheet ligament, droplet diameter and breakup time constants were predicted to be 1.8645, 10.142, 1.4922, and 23.101, respectively.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 수치해석
3. 최적 설계
4. 결과
5. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (0)

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