레이저 보조가공을 이용한 Si 광학부품의 초정밀 가공에 관한 연구

김대호; 홍준희

doi:10.7735/ksmte.2021.30.5.339

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김대호 (Chungnam National University) 홍준희 (Chungnam National University)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.30 No.5

발행연도: 2021.10

수록면: 339 - 344 (6page)

DOI: 10.7735/ksmte.2021.30.5.339

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The performance of optical components is sensitive to the surface roughness; hence, ultra-precision machining technique is significantly important. In this paper, ultra-precision machining and laser-assisted machining was performed; We evaluated them as methods for machining of silicon, an infrared optical component material. Machining brittle material by a diamond turning machine is challenging; laser-assisted machining resolves this issue. For instance, Si is an optical material with superior optical characteristics; however, Si usage is limited due to poor machinability. In contrast, Si can be machined with good surface roughness using laser-assisted machining. We obtained a surface roughness under Ra 10 nm, form accuracy under Pt 250 nm at the found optimal machining condition.

#Diamond turning #Infrared optics #Ultra-precision machining #Laser-assisted machining #Surface roughness

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양순철 / 2006 / 적외선 카메라용 반사경의 초정밀 절삭특성에 관한 연구 / 한국정밀공학회지 23(5):44~50

Kim, G. H. / 2007 / Ultra Precision Machining Technology of Infrared Optical System for Astronomy and Space / J. Korean Soc. Precis. Eng. 24(2):25~32

박영덕 / 2019 / 첨단 헤드업 디스플레이 장치용 비구면 자유형상 금형의 초정밀 가공에 관한 연구 / 한국산학기술학회논문지 20(1):290~296

Park, K. M. / 2017 / Study on Reduction of Machining Defects by Ultrasonic Drilling of CFRP / Proc. Korean Soc. Manuf. Technol. Eng. Spring Conf. :162

Yang, S. M. / 2020 / Optimization of the Cryogenic based Machining / Proc. Korean Soc. Manuf. Technol. Eng. Spring Conf. :88

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