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학술저널
저자정보
김형주 (경북대학교) 김봉환 (대구가톨릭대학교) 이동인 (영남대학교) 이봉희 (포항대학교) 조찬섭 (경북대학교)
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제29권 제4호
발행연도
2020.1
수록면
255 - 260 (6page)

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In this study, we developed a method of improving the surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS) response characteristics by depositing a nanoporous Ag metal thin film through cluster source sputtering after forming a pyramidal texture structure on the Si substrate surface. A reactive ion etching (RIE) system with a metal mesh inside the system was used to form a pyramidal texture structure on the Si surface without following a complicated photolithography process, unlike in case of the conventional RIE system. The size of the texturestructure increased with the RIE process time. However, after a process time of 60 min, the size of the structure did not increase but tended to saturate. When the RF power increased from 200 to 250 W, the size of the pyramidal texture structure increased from 0.45 to0.8 μm. The SERS response characteristics were measured by depositing approximately 1.5 μm of nanoporous Ag metal thin film through cluster sputtering on the formed texture structure by varying the RIE process conditions. The Raman signal strength of the nanoporous Ag metal thin film deposited on the Si substrate with the texture structure was higher than that deposited on the general silicon substrate by up to 19%. The Raman response characteristics were influenced by the pyramid size and the number of pyramids per unit area but appeared to be influenced more by the number of pyramids per unit area. Therefore, further studies are required in this regard.
#SERS #Cluster Sputtering #Nanoporous #Maskless RIE #Pyramid structure

목차

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M. Fan / 2020 / A review on recent advances in the applications of surface-enhanced Raman scattering in analytical chemistry / Anal. Chim. Acta 1097:1~29 google schola D. J. Gardiner / 1989 / Practical Raman Spectroscopy / Springer, Verlag Berlin Heidelberg google schola S. Schlucker / 2014 / Surface-Enhanced Raman Spectroscopy : Concepts and Chemical Applications / Angew. Chem. Int. Ed 53(19):4756~4795 google schola A. Otto / 1992 / Surface-enhanced Raman scattering / J. Phys. Condens. Matter 4(5):1143~1212 google schola C. L. Haynes / 2005 / Surface-Enhanced RAMAN SPECTROSCOPY / Anal. Chem 77(17):338A~346A google schola

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