지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.1
- 수록면
- 242 - 245 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
In this work, we fabricated oxide on an n-type silicon substrate through local anodic oxidation (LAO) using atomic force microscopy (AFM). The resulting oxide thickness was measured and its correlation with load force, scan speed and applied voltage was analyzed. The surface oxide layer was stripped using a buffered oxide etch. Ohmic contacts were created by applying silver paste on the silicon substrate back face. LAO was performed at approximately 70% humidity. The oxide thickness increased with increasing the load force, the voltage, and reducing the scan speed. We confirmed that LAO/AFM can be used to create both lateral and, to some extent, vertical shapes and patterns, as previously shown in the literature.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (6)
참고문헌 신청
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
금속의 양극산화처리 기술
한국표면공학회지
2018 .02
-
양극산화처리 기술의 산업적 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
-
Synthesis of thin Aluminum oxide on Aluminum by anodic oxidation in the aqueous bath for the tunneling electron emission device
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
-
알루미늄 합금 양극산화피막의 표면경도 측정법
한국표면공학회지
2020 .02
-
Synthesis of Nanoporous Metal Oxide Films Using Anodic Oxidation and Their Gas Sensing Properties
센서학회지
2018 .01
-
Mechanism of anodic film formation on metals and its practical application
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
-
Surface Hardness Measurement of Anodic Oxide Films on AA2024 based an Ink-Impregnation Method
한국표면공학회지
2020 .04
-
초발수성 및 발수성 알루미늄 양극산화피막의 최신 연구 동향
한국표면공학회지
2018 .02
-
Enhanced Corrosion Protection of Anodic Oxide Film on AA2024 Substrate by Sealing Treatments
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
-
양극 산화 알루미늄을 활용한 두께 조절 가능한 산화 그래핀 필름 제조
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .11
-
Multifunctional Nanoporous Aluminum Anodic Oxide
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
-
Sieving the polymer through anodic aluminum oxide membranes
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015 .04
-
전극과 다층 전해질 구조에 따른 고체 산화물 연료전지의 성능 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
-
전기장 시뮬레이션을 이용한 대면적 알루미늄 양극산화 공정
한국생산제조학회지
2017 .12
-
A novel method to fabricate hybrid membrane by embedding nanoparticles in anodic aluminum oxide (AAO) template
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .11
-
Effect of Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-ZrO<sub>2</sub> Composite Oxide Thickness on Electrical Properties of Etched Al Foil
한국재료학회지
2016 .01
-
Study of Fabrication Process for Janus Membrane based on Anodic Aluminum Oxide
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .11
-
알루미늄 양극화 처리를 이용한 나노 구조의 생성 및 마모성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2015 .10
-
Asymmetric Anodic Alumina Oxide Membrane with High Ionic Rectification and Ion Current
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2019 .11
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0