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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한양대학교 세라믹공정연구센터 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제21권 제5호
- 발행연도
- 2020.1
- 수록면
- 609 - 614 (6page)
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Variation of optical properties in a bulk GaN substrate have experimentally investigated with respect to different annealingconditions of 700 - 1,000 oC. As-annealed GaN was characterized by scanning electron microscopy, photoluminescence, andRaman spectroscopy. The experimental results demonstrated that the crystallinity and internal residual compressive stress ofGaN are most effectively improved when heat-treated at 900 oC for three hours. The optical characteristics were also improvedby enhancing the quality of the GaN substrate by decreasing both the defect density and the residual stress. It was alsoconfirmed that the effect of the heat treatment was excellent given that impurities were effectively removed by this process.
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