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박성만 (한국생산기술연구원) 신교직 (한국생산기술연구원) 최경호 (한국생산기술연구원) 배근열 (한국생산기술연구원) 장기철 (한국생산기술연구원) 백정주 (한국생산기술연구원) 김영훈 (한국생산기술연구원) 김영랑 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2021년도 추계학술대회 연구논문 초록집 제46권 제2호
발행연도
2021.10
수록면
81 - 81 (1page)

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PHPS (Perhydropolysilazane) is an inorganic compound with Si-N bonds that can be treated in solution and has properties similar to glass after curing. In general, for curing of PHPS, there are several methods including ammonia vapor exposure, thermal, and VUV irradiation. Among the various curing methods, the UV irradiation curing method can be processed at a low temperature, so there is almost no deformation or damage t ... 전체 초록 보기

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