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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.1
- 수록면
- 1,285 - 1,292 (8page)
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Microstructural properties of as-grown and annealed CoCrFeMnNi high entropy alloy (HEA) oxynitride thin films wereinvestigated. The CoCrFeMnNi HEA oxynitride thin film was grown by magnetron sputtering method using an air gas, andannealed under the argon plus air flow for 5 h at 800 °C. The as-grown film was homogeneous and uniform composed ofnanometer-sized crystalline regions mixed with amorphous-like phase. The crystalline phase in the as-grown film was facecentered cubic structure with the lattice constant of 0.4242 nm. Significant microstructural changes were observed afterthe annealing process. First, it was fully recrystallized and grain growth happened. Second, Ni-rich region was observed innanometer-scale range. Third, phase change happened and it was determined to be Fe3O4spinel structure with the latticeconstant of 0.8326 nm. Hardness and Young’s modulus of the as-grown film were 4.1 and 150.5 GPa, while those were 9.4and 156.4 GPa for the annealed film, respectively.
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