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함효식 (삼성중공업) 이동훈 (삼성중공업) 윤훈성 (삼성중공업) 박지현 (삼성중공업) 최두진 (삼성중공업)
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대한용접·접합학회 대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집 대한용접·접합학회 2021년도 추계학술대회 [초록집]
발행연도
2021.11
수록면
203 - 203 (1page)

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반도체 제조공장 건설 공사에는 많은 반도체 제조용 유틸리티 배관들이 있고, 이 배관들은 대부분 용접으로 시공하고 있다. 반도체 제조용 유틸리티 배관은 유해한 독성 화학물질을 공급하기 때문에 기밀 및 내부식성이 중요하고, 유틸리티 배관을 통한 미세먼지가 반도체 웨이퍼 품질에 영향을 주기 때문에 배관 이음부 용접 품질이 매우 까다롭게 요구된다. 따라서, 우수하고 안정된 품질을 가지는 오비탈 배관 자동용접을 적용하여 까다로운 용접부 이음부 사양을 만족시키려 한다. 현재 용접이음부에 단차가 거의 없는 튜브는 대부분 오비탈 자동용접을 적용중이나, 파이프용 배관 사이즈는 SUS 100A Sch.5 이하 직관 용접부에 대해 제한적으로 적용이다. 미적용 용접부는 대부분 오비탈 ... 전체 초록 보기

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