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자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한시과학회 대한시과학회지 대한시과학회지 제15권 제3호
발행연도
2013.1
수록면
217 - 226 (10page)

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목 적: 중심파장이 656.3nm에서 반치폭이 약 8nm이고 투과율이 92%인 협대역 H-α imaging 필터를 설계·제작하고, 이 필터의 박막 특성을 연구하고자 한다. 방 법: 전자빔 증착기를 이용하여 Ti₃O₅/SiO₂다층박막으로 656.3nm 대역투과필터와 Hb600 적외선 차단필터를 만든 후, 분광광도계로 투과율과 대역폭을 확인하였다. SEM사진을 이용하여 적외선차단필터 단면을 관찰하였고, XRD 데이터로부터 박막의 구조를 알 수 있었으며, XPS 분석으로부터 박막 성분을 확인하였다. 결 과: 협대역 H-α imaging 필터에서 대역투과필터의 최적조건은 30층, 반사방지막 코팅층은 6층, 적외선차단필터는 32층으로 설계·제작되었다. 제작된 H-α imaging 필터의 최대파장피크가 이론치에 비교했을 때 약 0.7nm로 공차가 거의 없는 것을 알 수 있었다. XRD 분석으로 대역투과 필터와 반사방지막 코팅 층은 비정질로, 적외선 차단 필터는 결정질으로 코팅되는 것을 확인하였다. SEM 사진에 의해 적외선 차단 필터의 코팅 층을 확인하였고, XPS 분석에 의해 대역필터의 가장 바깥층이 SiO₂층임을 확인할 수 있었다. 결 론: Ti₃O₅/SiO₂ 다층박막을 이용하여 30층의 대역투과 필터와 32층의 적외선차단필터를 제작하여 657nm 중심파장에서 8nm 반치폭을 가지며 투과율은 92%인 협대역 H-α imaging 필터를 제작하였으며, 제작된 필터는 설계치와 거의 비슷한 투과율과 반치폭을 가짐을 알 수 있었다.
#H-α imaging 필터 #적외선 차단 필터 #협대역 투과필터 #Ti₃O₅/SiO₂다층박막 #H-α imaging filter #IR cut-off filter #narrow bandpass filter #Ti₃O₅/SiO₂multilayer

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Macleod HA / 1986 / Thin film optical filters / Macmillan :234~313 google schola Henson DB / 1996 / Optometric instrumentation / Butterworth-Heinemann :97~100 google schola 박문찬 / 2012 / Al_2O_3 기판위에 Ge/ZnS 다층박막을 이용한 적외선 대역 투과필터의 제작 및 특성연구 / 대한시과학회지 14(3):263~270 google schola Park MC / 2004 / The optical characteristic of Fabry-Perot interferometer filter for UV meter / J. Korean Oph. Opt. Soc 9(2):463~471 google schola 박문찬 / 2011 / Ti3O5/SiO2 다층박막를 이용한 협대역 칼라투과필터제작 및 특성연구 / 한국안광학회지 16(4):357~362 google schola

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