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This paper presents the failure mode study of process FMEA (failure mode and effects analysis) based on the characteristics for semiconductor industry. To identify failure modes, we first divide the process into modified one and new one. For the former, failure modes are driven from the master FMEA, the previously prepared FMEA DB, and similar processes FMEAs previously analyzed. For the latter, a systematic study for process function is done firstly and then failure modes are identified according to the cases where the function is absent, surplus, insufficient, intermittent, and unexpected and the characteristics of the process itself and inspection methods. Those failure modes are stored in the master FMEA. A case study is also given.
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S. Y., Kim / 2007 / Reestablishment of RPN Evaluation Method in FMEA Procedure for Motors in Household Appliances / Quality Management Journal 35(1):1~9
I. S. Son / 2008 / Theory and practice of quality management system Press :350
차명선 / 2009 / 반도체기업에서의 품질경영시스템의 성숙도 평가 모형 / 대한설비관리학회지 14(4):35~44
차명선 / 2009 / 반도체 제조공정의 효과적인 SPC시스템 운용 / 대한설비관리학회지 14(4):95~103
Editorial / 1992 / Failure Mode and Effects Analysis (FMEA): A Guide for Continuous Improvement for the Semiconductor Equipment Industry Technology Transfer / #92020963B-ENG, SEMATECH :14~21
I. S. Son / 2008 / Theory and practice of quality management system Press :350
차명선 / 2009 / 반도체기업에서의 품질경영시스템의 성숙도 평가 모형 / 대한설비관리학회지 14(4):35~44
차명선 / 2009 / 반도체 제조공정의 효과적인 SPC시스템 운용 / 대한설비관리학회지 14(4):95~103
Editorial / 1992 / Failure Mode and Effects Analysis (FMEA): A Guide for Continuous Improvement for the Semiconductor Equipment Industry Technology Transfer / #92020963B-ENG, SEMATECH :14~21
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