Comparative Study of Reliability Issues in La-doped Bismuth Titante Thin films According to the Bottom Electrode Materials

이장식; Q.X.Jin

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이장식 (국민대학교) Q.X.Jin (Los Alamos National Laboratory)

저널정보: 대한금속·재료학회 Electronic Materials Letters Electronic Materials Letters Vol.4 No.3

발행연도: 2008.1

수록면: 95 - 98 (4page)

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We have investigated the effects of bottom electrode materials on fatigue and hydrogen-induced degradation in La-doped bismuth titanate (Bi3.25La0.75Ti3O12; BLT) thin films. BLT thin films were deposited on SrRuO3 (SRO) and platinum (Pt) electrodes by pulsed laser deposition. BLT films on both electrodes showed good crystallized structures and ferroelectric properties after post-deposition annealing. Also, it was observed that there is almost no fatigue degradation in both cases. However, substantially different hydrogen-induced degradation behavior was observed in the case of BLT-based capacitors according to the bottom electrode materials. When Pt was used as a bottom electrode, the hydrogen-induced degradation was found to be very severe, resulting in polarization failure even at 300°C. In contrast, BLT films on SRO electrodes were highly immune to hydrogen-induced degradation.

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