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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
송근수 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원) 손승우 (㈜성림피에스)
저널정보
한국실내환경학회 한국실내환경학회지 한국실내환경학회지 제5권 제2호
발행연도
2008.1
수록면
151 - 157 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (15)

2023

반도체 클린룸의 다양한 피드백 제어 방식에 대한 실내온도 과도응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  김춘식 외 3명 대한기계학회 논문집 B권 2023.05 학술저널
전기클린룸의 실내 온도 및 습도에 대한 피드백 동시제어 수치해석
송근수 ,  정준수 ,  정동호 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2023.04 학술대회자료

2022

반도체 클린룸의 피드백 제어방식에 따른 실내온도 과도응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  정동호 외 6명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2022.06 학술대회자료
반도체 클린룸의 다양한 실내온도 피드백 제어방식에 따른 과도응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  송주섭 외 6명 대한기계학회 춘추학술대회 2022.04 학술대회자료

2021

반도체 클린룸의 실내온도 피드백 제어방식에 대한 과도 응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  송주섭 외 6명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2021.11 학술대회자료

2011

반도체 클린룸용 외기공조시스템의 에너지소비량 분석 실험
송근수 ,  유경훈 ,  손승우 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2011.07 학술대회자료
반도체 클린룸용 증기가습 및 수분무가습 외기공조시스템의 연간 에너지소비량 분석 수치해석
송근수 ,  유경훈 ,  손승우 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2011.07 학술대회자료

2010

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지절감에 관한 수치해석
송근수 ,  김형태 ,  유경훈 외 3명 설비공학논문집 2010.10 학술저널
반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 열회수성능 수치해석
송근수 ,  김형태 ,  유경훈 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2010.06 학술대회자료
반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 열회수량 수치해석
송근수 ,  김형태 ,  유경훈 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.05 학술대회자료

2009

반도체 클린룸용 배기 열회수식 외기공조시스템의 에너지소비 수치해석
송근수 ,  유경훈 ,  김형태 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2009.06 학술대회자료
반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지 절감 수치해석
송근수 ,  김형태 ,  유경훈 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료
반도체 클린룸용 배기 열회수식 외기공조시스템의 에너지절감에 관한 실험적 연구
송근수 ,  유경훈 ,  강신영 외 1명 설비공학논문집 2009.05 학술저널

2008

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지 소비량에 관한 실험
송근수 ,  유경훈 ,  손승우 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2008.04 학술대회자료
반도체 클린룸용 에어와셔의 암모니아 제거성능 개선 연구
송근수 ,  유경훈 ,  손승우 한국실내환경학회지 2008.01 학술저널

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In recent semiconductor manufacturing clean rooms, air washers are used to remove airborne gaseous contaminants such as NH3, SOx and organic gases from outdoor air introduced into clean room. In order to improve the gas removal performance of the air washers, a hot water contact heat exchanger can be installed upstream of an air washer, heating and humidifying the incoming outdoor air before entering the air washer. In the present study, an experiment was carried out to examine closely the improvement of gas removal efficiency by the insertion of the hot water contact heat exchanger. The experiment showed that the gas removal efficiency was increased by the water vapor condensation effect.

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