Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가

이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .10

슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어

이다솔 ,  이기훈 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

구리/폴리머의 CMP에서 슬러리 첨가제가 선택비에 미치는 영향

장수천 ,  유민종 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석

정은수 ,  유진욱 ,  최태민 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

전기화학적 특성 분석을 이용한 스테인리스강의 유형에 따른 CMP 슬러리 조성 최적화

이다솔 ,  이현섭 ,  정선호 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .05

CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구

정희숙

한국에너지기후변화학회 학술대회

2024 .11

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

The improvement of tungsten CMP performance by controlling slurry temperature

Wenxing Xue ,  Sanghuck Jeon ,  Taesung Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

SiO₂ CMP 에서 스프레이 슬러리 노즐 효과에 대한 연구

조호성 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성

이현섭 ,  조예진 ,  김용훈 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2022 .04

Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP

이다솔 ,  정선호 ,  이종우 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .02

니켈 전극을 이용한 전해 이온화 슬러리 CMP 특성 연구

이현섭 ,  조예진 ,  김용훈 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

슬러리 소비 감소를 위한 CMP 분위기 제어를 이용한 슬러리 미스트 개발

이다솔 ,  정선호 ,  김현진 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

산화막 CMP 공정 중 패드 그루브에 기반한 슬러리 유동과 온도 제어에 관한 연구

이정렬 ,  조영광 ,  서현민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .05

스테인리스 강 종류에 따른 맞춤형 CMP 슬러리 개발

이다솔 ,  박인호 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

CMP 를 적용한 패키지 기판의 다층배선 공정개발

장수천 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

CMPSlurry 입자 분포 개선에 관한 연구

유진수 ,  윤현주 ,  전준배 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05