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학술저널
저자정보
차영광 (VITZROEM) 이일회 (VITZROEM) 전기범 (VITZROEM) 장지훈 (VITZROEM) 주흥진 (VITZROEM)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제71권 제2호
발행연도
2022.2
수록면
406 - 411 (6page)
DOI
10.5370/KIEE.2022.71.2.406

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2022

최대 전압 12 kV, 커패시턴스 50~500 pF 가변 진공커패시터 개발
차영광 ,  이일회 ,  전기범 외 3명 전기전자재료학회논문지 2022.05 학술저널
50~500㎊ 커패시턴스 가변형 진공커패시터의 전극 설계 및 평가
차영광 ,  이일회 ,  전기범 외 2명 전기학회논문지 2022.02 학술저널

2021

50-500pF 가변형 진공커패시터의 전극 설계 및 평가
차영광 ,  이일회 ,  전기범 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2021.07 학술대회자료

초록· 키워드

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A variable vacuum capacitor (VVC) is used to match impedance between an RF generator and a plasma load for manufacturing semiconductor devices and display panels. However, VVC requires a very narrow gap between electrodes and a high degree of vacuum to implement high dielectric strength and capacitance variability at compact sizes. In addition, it is difficult to manufacture and maintain quality of the electrode unit, and is not easy to access to development due to the difficulty of the brazing process. For this reason, there are no VVC manufacturers in Korea yet, so it relies entirely on imports.
In this study, we designed and manufactured VVC with AC withstand voltage of 12 ㎸ and capacitance of 50 to 500 ㎊, which are widely used in RF matchers, etc. As a result of the test, the required performance was confirmed, and the possibility of localization was verified.
#Variable vacuum capacitor #Impedance matching #AC withstand voltage #Capacitance #RF matcher

목차

Abstract
1. 서론
2. 가변형 진공커패시터
3. 가변형 진공커패시터 설계 및 해석
4. 가변형 진공커패시터 제작 및 시험
5. 결론
References

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