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고조파 위상 반복 분석법과 파장 주사 간섭법을 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면형상 측정
대한기계학회 논문집 A권
2022 .06
Fizeau 간섭계를 이용한 X 선 거울 측정용 스티칭 간섭계 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
파장주사 Fizeau 간섭법의 균일 위상 오차를 제거하는 창함수 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
파장 주사 Fizeau 간섭계와 Gaussian 창함수를 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면 형상 측정
대한기계학회 논문집 A권
2024 .07
파장 주사 간섭법을 이용한 투명 평판의 초정밀 표면 형상 측정
대한기계학회 논문집 A권
2023 .04
Simultaneous Thickness and Surface Shape Measurements of Blank Mask Using Wavelength-scanning Interferometry and Phase-iterative Algorithm
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
Thickness Measurement of Blank Mask Using Wavelength-tuning Interferometry and Phase-iterative Method
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
X 선 거울 측정을 위한 스티칭 간섭계 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Development of Phase-shifting Algorithm for Simultaneous Measurement of Surface and Thickness of Transparent Plates with Compensating the Spatially Uniform Phase Error
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
단일 영상 공간 위상 천이 등가 파장 간섭계를 이용한 3 차원 형상 측정 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
두 간섭계를 이용한 광학식 형상 측정법
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2018 .04
굴절률 분산을 억제하는 위상 검출 알고리즘을 이용한 투명 평판 두께의 정밀 간섭 측정
대한기계학회 논문집 A권
2022 .05
굴절률 분산을 억제하는 위상 검출 알고리즘을 이용한 파장 주사 간섭계
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
위상 시프트를 이용한 투명 평판 및 박막의 표면 형상 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
투명 평판 두께의 간섭 측정을 위한 굴절률 분산을 억제하는 위상 검출 알고리즘
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
Precise Separation Method for Thickness Irregularities of Transparent Parallel Glass based on Three-surface Interferometry
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
Interferometric Thickness Profilometry of Transparent Plate with Wavelength Tuning and Window Function
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
Surface Measurement of Transparent Parallel Plate Using Phase-shifting Interferometry with Suppression of Coupling Error
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
고조파 전류의 유출입에 따른 해석 방법 연구
조명·전기설비학회논문지
2017 .07
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