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엄준영 (서울대학교) 김민수 (서울대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2020년도 동계학술발표대회 논문집
발행연도
2020.11
수록면
6 - 10 (5page)

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The chuck existing inside the tester used for EDS must keep the temperature of the chuck constant at the target temperature even in the presence of disturbance during the test process. In order to keep the temperature of the chuck constant, the PID coefficients of the heater and the chiller were applied in an empirical way, but the test result found that it was necessary to improve the temperature uniformity through the optimization of the PID coefficients. Through the Ziegler-Nichols method, the initial value of the PID coefficient suitable for the facility was identified, and a plan for improving the PID coefficient was proposed through fine correction according to the disturbance.
#Chuck #Wafer #Prober card #Temperature #PID control #Ziegler-Nichols method

목차

Abstract
1. 서론
2. Ziegler-Nichols 방법을 이용한 PID 계수 튜닝
3. 테스트 설비의 최적 PID 계수 산출
4. 결론
References

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