반도체 시편의 뮬러 행렬 도출을 위한 엘립소미터 개발

김지후; 이주형

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김지후 (서울과학기술대학교) 이주형 (서울과학기술대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2022년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2022.10

수록면: 186 - 186 (1page)

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소속기관 서울과학기술대학교

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