Measurement of Film Thickness by Double-slit Experiment

Soobong Park; Byoung Joo Kim; Deok Woo Kim; Myoungsik Cha

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자료유형: 학술저널

저자정보: Soobong Park (Pusan National University) Byoung Joo Kim (Pusan National University) Deok Woo Kim (Pusan National University) Myoungsik Cha (Pusan National University)

저널정보: 한국광학회 Current Optics and Photonics Current Optics and Photonics Vol.5 No.1

발행연도: 2021.2

수록면: 52 - 58 (7page)

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We show that a simple double-slit experimental setup can be used to measure the thickness of a transparent thin film. The phase difference between the light passing through one slit covered with photoresist film and that passing through the other slit without film was estimated using the simple Fraunhofer diffraction formula for a double slit. Our method gave error of a few percent or less for film thicknesses ranging from 0.7 to 1.7 μm, demonstrating that a laboratory double-slit experimental setup can be utilized in practical film-thickness measurements.

#Diffraction #Double-slit #Thickness #Thin film

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T. Young / 1804 / The bakerian lecture: experiments and calculations relative to physical optics / Phil. Trans. R. Soc. London 94:1~16

J.-A. Kim / 2014 / Vibration-insensitive measurement of thickness variation of glass panels using double-slit interferometry / Opt. Express 22:6486~6494

J. Emile / 2013 / Mapping of the Marangoni effect in soap films using Young’s double-slit experiment / Europhys. Lett 104:14001

A. Lipson / 2011 / Optical Physics / Cambridge University Press :279~280

F. L. Pedrotti / 2006 / Introduction to Optics / Addison Wesley :268~271

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