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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.31 No.6
- 발행연도
- 2022.11
- 수록면
- 128 - 132 (5page)
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X-ray is an essential probe for observing, from the nano to atomic scale, the physical and chemical properties of thin films, such as film thickness, electron densities, and features related to crystal structures. In particular, bright and collimated synchrotron (SR) X-rays have enabled various in situ experiments combined with multiple measurements of X-rays and other probes. In this report, we provide basic information on SR-related X-ray experiments, such as X-ray reflectivity-Total reflection X-ray fluorescence, Grazing incidence wide-angle X-ray scattering, and 3-dimensional reciprocal space mapping, for thin film research.
목차
ABSTRACT
1. Introduction
2. Thin-film characterization via SR X-rays
3. Conclusion
References
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