Precise Alignment of Lithography Patterns Using Generative Adversarial Network

Y. H. Nam ,  D. N. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

패턴과 패턴의 정렬을 위한 장비설계

이태경 ,  서보욱 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12

딥러닝 기반 리소그래피 패턴 윤곽선 자동 추출 기법

김태연 ,  김도년

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

주기적인 패턴의 특성을 이용한 새로운 정렬 알고리즘 연구

서보욱 ,  김우영 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12

딥러닝을 적용한 패턴의 정렬에 관한 연구

이제민 ,  김석 ,  서보욱 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

주기적인 마이크로 패턴의 특성을 이용한 정밀 정렬 시스템에 관한 연구

김우영 ,  서보욱 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .06

Self-pattern Alignment Method를 이용한 대면적 마이크로 패턴 필름 제작

김우영 ,  김석 ,  조영태

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .12

레이저 직접 리소그래피와 포토리소그래피를 활용한 고해상도 디스플레이 전극용 패턴 제작

조승환 ,  이주형 ,  최학종 외 4명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .12

기능성 패턴의 대면적화를 위한 패턴의 정렬 오차 추출 딥러닝 알고리즘

서보욱 ,  김석 ,  김우영 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

텍스트 기반 이미지 생성 모델로 생성된 이미지의 신뢰성 분석 프레임워크

도승원 ,  백재욱 ,  전성우 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

생성형 학습 모델 기반 이미지 변환 생성 방법

정영웅 ,  민지홍 ,  손은진 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

2024 .11

롤투롤 공정에서 버스트 정렬 패턴을 이용한 웹의 위치 측정 및 제어시스템

김형래 ,  김태형 ,  김영진 외 5명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .12

강인한 심층 그래프 생성 모델 설계

박진덕 ,  Cong T ,  an 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

2020 .08

대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구

김상민 ,  박창수 ,  이준상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

푸리에 변환을 활용한 정렬마크 없는 서로 다른 형상의 마이크로 패턴 정렬 기법

윤서나 ,  김우영 ,  서보욱 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .07

“딥러닝 생성모델”특집을 내면서

송길태 ,  최희열

정보과학회지

2021 .06

상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구

성중현 ,  김민수 ,  정명기 외 1명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2018 .05

심층 생성 신경망에서 생성 경계를 고려한 탐색기반 예제 생성 기술

전기영 ,  정해동 ,  최재식

정보과학회지

2021 .06

딥러닝을 이용한 반도체 리소그래피 공정에서의 핫스팟 예측

김재훈 ,  임재경 ,  김도년

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

전기수력학적 리소그래피를 이용한 기능성 물질의 미세패턴 형성

이수옥 ,  이재종 ,  최기봉 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05