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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
전민지 (부산대학교) 이승기 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 진공이야기 진공이야기 제9권 제4호
발행연도
2022.12
수록면
4 - 8 (5page)

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Semiconducting transition metal dichalcogenides are an emerging class of materials with attractive properties in the field of fundamental research as well as future -oriented application ranging from nanodevice to wearable electronics. Recently, the possibility of application to commercialization is one step closer because solution -based facile methods that can be synthesized in a large scale upon arbitrary substrates have been reported, breaking away from the existing batch -type synthesis method. In this review, we summarized the strategy of mass production from the mechanism of solution-based TMDs thin film formation ; subsequently , we discussed the direct formation of patterned TMDs using shape control of soft precursors with the merits and drawbacks of the method.

목차

서론
열분해법을 이용한 TMDs 합성 메커니즘
용액공정기반 열분해법을 이용한 대면적 TMDs 박막의 형성 기술
불순물 오염을 최소화한 TMDs 패턴 기술
맺음말
References

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