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자료유형
학술저널
저자정보
이원희 (서울디지털대학교)
저널정보
한국지식정보기술학회 한국지식정보기술학회 논문지 한국지식정보기술학회 논문지 제17권 제1호
발행연도
2022.2
수록면
55 - 60 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (8)

2022

실리콘 웨이퍼의 비유전율과 손실 탄젠트의 측정
이원희 한국지식정보기술학회 논문지 2022.02 학술저널

2008

유전체 슬랩이 삽입된 원통형 공진기를 이용한 저손실 물질의 유전 상수 측정
이원희 한국전자파학회논문지 2008.10 학술저널

2002

유전체 디스크가 삽입된 원통형 공동 공진기에서의 공진 모드 구분에 관한 연구
이원희 ,  김태신 ,  구경완 외 2명 전기전자재료학회논문지 2002.01 학술저널

2001

원통형 공동 공진기의 TE_(011) 모드를 이용한 유전체의 전자기적 특성 측정 방법 ( A Measurement Method of Dielectric Properties of Dielectric Materials using TE_(011) mode of Cylindrical Cavity Resonators )
이원희 ,  김태신 ,  허정 외 1명 전자공학회논문지-TC 2001.05 학술저널

2000

Moveable cap을 가진 원통형 공동 공진기를 이용한 유전율 측정 방법
이원희 ,  최홍주 ,  허정 외 1명 대한전자공학회 학술대회 2000.06 학술대회자료

1999

원통형 공진기를 이용한 유전율 측정방법에서 측정모드 선택에 관한 연구 ( A Study on the Selection of Measuring Mode in the Permittivity Measurement Using a Circular Cylindrical Cavity )
이원희 ,  강순국 ,  최홍주 외 2명 한국전자파학회논문지 1999.04 학술저널

1998

원통형 공진기를 이용한 비유전율 측정 방법 개선에 관한 연구 ( A Study on the Improvement of the Dielectric Constant Measurement Using the Cylindrical Cavity Resonator )
이원희 ,  강순국 ,  최홍주 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1998.10 학술대회자료
원통형 공진기를 이용한 비유전율 측정방법 개선에 관한 연구 ( A Study on the Improvement of the Dielectric Constant Measurement Using the Cylindrical Cavity Resonator )
이원희 ,  강순국 ,  최홍주 외 2명 한국통신학회 학술대회논문집 1998.01 학술대회자료

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실리콘 웨이퍼 상에 만들어지는 회로의 동작주파수가 마이크로웨이브 대역에서 밀리미터웨이브 대역까지 확대되고 있다. 실리콘 웨이퍼를 이용하여 회로를 구성하였을 때 동작 주파수와 높은 주파수의 고조파 성분을 고려하여야 한다. 따라서 실리콘 웨이퍼의 비유전율과 손실 탄젠트를 정확히 알고 있어야 회로 설계를 정확히 할 수 있다. 본 논문에서는 원통형 공동 공진기를 이용하여 실리콘 웨이퍼의 비유전율과 손실 탄젠트를 측정하였다. 실리콘 웨이퍼의 경우 쉽게 깨지는 특성이 있어, 기존의 비유전율과 손실 탄젠트 측정 방법으로는 측정이 불가능하다. 그러나 본 논문의 방법으로 측정하면 실리콘 웨이퍼를 깨트려서 원통형 공동 공진기에 삽입 후 측정이 가능하기 때문에 측정의 용이성이 있다. 원통형 공동 공진기 내부에 실리콘 웨이퍼 시편을 삽입한 경우와 비어있는 경우의 공진주파수 스캔 결과에서 가장 변화가 큰 모드를 선택하였다. 이 때의 시뮬레이터에서 실리콘 웨이퍼의 비유전율과 손실 탄젠트를 측정하였다. 측정 결과 비소(AS)가 도핑된 실리콘 웨이퍼의 경우는 비유전율이 16.5로 높은 편이며 손실 탄젠트 또한 0.5로 높았고, 비저항이 19인 실리콘 웨이퍼의 경우 비유전율이 12, 손실 탄젠트가 0.1로 측정되었다.
#Designed circuit #Silicon wafers #Operating frequency #High-frequency harmonics #Relative permittivity #Loss tangent

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