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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.1
- 수록면
- 29 - 33 (5page)
- DOI
- https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.1.29
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e-beam evaporator 장비를 이용하여 고진공, 상온에서 바나듐 산화물(VO) 박막을 증착하였다. 다양한 비율의 N2와 O2 가스를 흘려주는 후열처리 공정을 통하여 순수한 VO2 박막과 VO2, V2O5, V3O7, V5O9, V6O13 등 다양한 상이 섞여있는 혼합상의 VO 박막을 제작하였다. 박막의 상과 결정화 정도는 XRD를 통하여 확인하였고, 표면 형상은 FE-SEM을 통하여 확인하였다. 또한 각각의 박막의 전기적 특성을 측정 하였으며, 특히 250ºC와 400ºC에서 에탄올 가스(50 ppm)에 대한 저항 변화를 측정 하였다. 혼합상의 VO 박막은 자가 도핑 효과로 인하여 높은 전하 밀도를 가져 높은 전기적 특성을 가진다고 생각되며, 이로 인하여 에탄올 가스에 대한 감도도 향상되었다. 결과적으로 본 연구를 통하여 쉽고, 대면적화가 가능하고, 재현성이 우수한 공정 방법으로 VO 박막을 제작 할 수 있었고, 이는 향후 다양한 전기적, 광학적 소자 분야에서 높은 잠재력을 가지고 있다고 생각한다.
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