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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.12
- 수록면
- 1,095 - 1,100 (7page)
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본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링 법으로 유리, 사파이어, PEN 기판 위에 ITZO 박막을 증착하여 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. 유리와 사파이어 기판위에 증착한 ITZO 박막의 비저항은 각각 3.08×10-4 과 3.21×10-4Ω-cm로 큰 차이를 보이지 않은 반면 PEN 기판위에 증착한 ITZO 박막의 비저항은 7.36×10-4Ω-cm로 다소 큰 값이 측정되었다. 기판의 종류와 무관하게 ITZO 박막의 평균 투과도의 차이는 크지 않았다. 유리 기판위에 증착한 ITZO 박막의 비정질 실리콘 박막 태양전지의 흡수영역에서의 평균 투과도와 P3HT:PCBM 유기물 활성층의 흡수영역에서의 평균 투과도를 이용하여 구한 재료평가지수는 각각 10.52 와 9.28×10-3Ω-1로 가장 우수한 값을 나타내었다. XRD와 AFM 측정을 통해, 기판의 종류에 상관없이 모든 ITZO 박막이 비정질 구조를 나타내며 핀홀이나 크랙 같은 결함이 없는 표면을 가짐을 확인할 수 있었다.
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O. Mahian / 2021 / Recent Advances in Using Nanofluids in Renewable Energy Systems and The Environmental Implications of Their Uptake / Nano Energy 86:106069
R. Klaimi / 2019 / Optimization Techniques for Coupling Renewable/Hybrid Energy Options with Desalination Systems for Carbon Footprint Reduction / Chem. Eng. Res. Des 151:270~290
F. Schindler / 2018 / Towards the Efficiency Limits of Multicrystalline Silicon Solar Cells / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 185:198~204
C. Wronski / 2008 / Thin-Film Si : H-based Solar Cells / Vacuum 82(10):1145~1150
N. Yan / 2020 / Recent Progress of Thin-Film Photovoltaics for Indoor Application / Chin. Chem. Lett 31(3):643~653
R. Klaimi / 2019 / Optimization Techniques for Coupling Renewable/Hybrid Energy Options with Desalination Systems for Carbon Footprint Reduction / Chem. Eng. Res. Des 151:270~290
F. Schindler / 2018 / Towards the Efficiency Limits of Multicrystalline Silicon Solar Cells / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 185:198~204
C. Wronski / 2008 / Thin-Film Si : H-based Solar Cells / Vacuum 82(10):1145~1150
N. Yan / 2020 / Recent Progress of Thin-Film Photovoltaics for Indoor Application / Chin. Chem. Lett 31(3):643~653
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