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저자정보
Kim Hyun-Mi (Seoul National University) Park Kyeong-Beom (Seoul National University) 김형준 (서울대학교) Chae Hongsik (Seoul National University) Yu Jae-Seok (Seoul National University) Lee Kidan (서울대학교) Kim Ki-Bum (서울대학교)
저널정보
나노기술연구협의회 Nano Convergence Nano Convergence Vol.5 No.32
발행연도
2018.11
수록면
1 - 7 (7page)
DOI
10.1186/s40580-018-0164-z

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The dynamics of nanopore formation in metal membranes using the highly focused and high energy electron beams (e-beams) of transmission electron microscopy instruments was investigated. Various metals such as Al, Ti, Cr, Cu, and Au were selected to investigate the effect of the atomic mass of the metal on nanopore drilling, namely, elastic versus inelastic scattering. We demonstrated that the effect of elastic scattering (pore formation by sputtering) decreased as the atomic mass of the metal increased. Furthermore, experimental cross-sections obtained from normalized drilled volume vs. electron dose curves (characteristic contrast curves) matched well the calculated atomic displacement cross-sections determined from elastic scattering data. The sputtering energies of Ti, Cr, and Cu were determined to be approximately 10, 9, and 7 eV, respectively, which were in good agreement with the reported range of sputtering energy values.
#Nanopore perforation Focused e-beam Scattering cross-section

목차

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A. J. Storm / 2003 / Fabrication of solid-state nanopores with single-nanometre precision / Nat. Mater 2(8):537~540 google schola S. D. Berger / 1987 / Electron energy-loss spectroscopy studies of nanometer-scale structures in alumina produced by intense electron-beam irradiation / Philos. Mag. B 55(3):341~358 google schola D. Williams / 1996 / Transmission electron microscopy / Springer :65 google schola H. -M. Kim / 2009 / Method of improving the quality of nanopatterning in atomic image projection electronbeam lithography / J. Vac. Sci. Technol. B 27(6):2553~2557 google schola H. M. Kim / 2011 / Theoretical and experimental study of nanopore drilling by a focused electron beam in transmission electron microscopy / Nanotechnology 22(27):275303 google schola

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