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저자정보
김홍탁 (경북대학교) 양기원 (경북대학교) 박종구 (경북대학교) 이성엽 (경북대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제73권 제4호
발행연도
2023.4
수록면
330 - 335 (6page)

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본 연구에서는 고체 전해질 물질인 질화 인산 리튬 (LiPON)을 유기 금속 기상 화학 증착법 (MOCVD) 방법으로 증착하였다. 증착 시 발생하는 양극재료 리튬 코발트 산화물 (LCO)의 열화 방지를 위한 산화 알루미늄 (Al₂O₃) 박막의 환원 방지 효과에 대하여 조사하였다. MOCVD를 이용한 LiPON 박막 증착 과정에서, LCO는 암모니아 활성종과 환원 반응하여 산소 성분을 잃고 금속 코발트로 변한다. 금속 코발트 층의 두께는 반응 온도의 상승과 거의 선형적으로 비례한다. 이 반응의 활성화 에너지는 25 kJ/㏖이며, 비교적 낮은 온도인 350 ℃에서도 LCO의 환원 반응이 발생한다. 이에 대한 원인은, LCO 내부의 코발트 성분이 암모니아의 활성화를 위한 효과적인 촉매로 작용하며, 활성화된 암모니아 종들이 LCO의 환원 반응을 촉진시킨 것으로 설명할 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 매우 안정한 물질인 Al₂O₃ 박막을 도입하였고, 매우 얇은 두께 (~50 ㎚)에서도 효과적으로 LCO의 열화를 방지할 수 있음을 확인하였다. 이 환원 방지층은 암모니아를 사용하는 증착 공정에서 기판의 성분을 보호하는 기술로써, 보편적으로 적용될 수 있을 것으로 보인다.

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 논의
Ⅳ. 결론
REFERENCES

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