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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
조민제 (아나패스) 김도윤 (삼성전자) 이재성 (고려대학교)
저널정보
한국전자파학회 한국전자파학회논문지 한국전자파학회논문지 제34권 제8호(통권 제315호)
발행연도
2023.8
수록면
609 - 617 (9page)

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본 연구에서는 65-nm CMOS 공정 기반 600 GHz 대역 6×6 배열 검출기가 개발되었다. 공통 게이트 차동 쌍 구조에 온 칩 차동 패치 안테나가 집적된 형태로 개발된 단일 픽셀 검출기 36개를 행과 열이 동일한 픽셀 수로 배치하여 배열을 형성하였으며, 픽셀 선택을 위한 행/열 선택 스위치 및 신호 경로를 함께 집적하여 배열 검출기가 완성되었다. 전기적 특성으로는 600 GHz 근방에서 1,320 V/W의 평균 반응도, 114 pW/Hz<SUP>0.5</SUP>의 평균 NEP를 얻었고, 제작된 배열 검출기에 기반하여 600 GHz 대역의 투과 이미징 실험이 진행되었다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 단일 픽셀 검출기
Ⅲ. 배열 검출기
Ⅳ. 이미징 실험
Ⅴ. 결론
References

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