나노초 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 다이싱 공정에 대한 연구

손영일; 신중한; 이해민

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 손영일 (국립공주대학교) 신중한 (국립공주대학교) 이해민 (국립공주대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 생산 및 설계공학부문 2024년도 춘계학술대회 초록집

발행연도: 2024.6

수록면: 54 - 54 (1page)

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