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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2024.8
- 수록면
- 848 - 852 (5page)
- DOI
- 10.5302/J.ICROS.2024.24.0066
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Extensive research have been conducted to improve the characteristics of resonant frequency with temperature variations in silicon resonators for various applications. However, temperature measurement delays due to temperature gradient across the chip make it challenging to improve temperature characteristics. This study proposes, a method of measuring the Q-factor of MEMS resonators in real time and estimating their temperature without any time delays using the measured Q-factor. The proposed real-time indirect Q-factor estimation method was validated based on ring-down Q-factor measurement method, and it is suitability for application in the operating environment of MEMS resonant accelerometers was assessed through acceleration-induced testing and temperature cycling tests. The experimental results on the variation of the resonant frequency with temperature validate an improvement in temperature estimation using the proposed method. The proposed method reduced temperature hysteresis characteristics from 3.2019Hz to 1.122Hz, achieving a 65% improvement.
목차
Abstract
I. 서론
II. 실시간 간접 Q 인자 추정 방법
III. 실시간 간접 Q 인자 추정을 통한 MEMS 공진자의 온도 특성 분석
IV. 결론
REFERENCES
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
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D. D. Shin, Y. Chen, I. B. Flader, and T. W. Kenny, “Epitaxially encapsulated resonant accelerometer with an on-chip micro-oven,” 2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), pp. 595-598, Jul. 2017. doi: 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994119
D. D. Shin, Y. Chen, I. B. Flader, and T. W. Kenny, “Temperature compensation of resonant accelerometer via nonlinear operation,” 2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), pp. 1012-1015, Jan. 2018. doi: 10.1109/MEMSYS.2018.8346730
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