Two-Step Pseudo Isothermal Plane Model을 활용한 개선된 BEOL Compact Thermal Model 설계 및 분석

Q: 이 논문에서 정의한 Two-Step Pseudo Isothermal Plane Model이란 무엇인가?

Two-Step Pseudo Isothermal Plane Model은 BEOL 열 작동을 나타내는 기존 열 등가 회로 모델의 내용을 강화하여, 보다 실용적인 배선 구조에 적용 가능한 열 저항 모델이다. 이 모델은 상하 금속층에 평면 등온면 모델을 적용하여 열 저항을 더 정밀하게 정의하며, ILD 보정 두께 매개변수를 BEOL 치수와의 선형 관계를 기반으로 설정한다.

Q: 개선된 열 저항 모델이 기존 모델 대비 어떤 이점을 가지는가?

연구 결과, 개선된 열 저항 모델은 기존 모델보다 더 복잡하고 적층된 배선 배열에서 더 낮은 오류율을 보였다. 이는 이 모델이 미래 회로 수준 작동을 위한 배선 레이아웃 영역에 신뢰성 있게 적용되고 활용될 수 있음을 확인시켜 준다. 특히, 평면 등온면 모델과 ILD 보정 두께 매개변수 설정이 정확도를 높이는 데 기여한다.

김조현; 전종욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김조현 (성균관대학교) 전종욱 (성균관대학교)

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2024년도 대한전자공학회 하계학술대회 논문집

발행연도: 2024.6

수록면: 628 - 629 (2page)

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By reinforcing the contents of existing thermal equivalent circuit model representing the thermal operation of BEOL, thermal resistance model applicable to a more practical wiring structure was developed. Flat Isothermic Plane Model is applied to the upper and lower metal layers defining thermal resistance more precisely. ILD correction thickness par ... 전체 초록 보기

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