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전력전자학회 전력전자학회논문지 전력전자학회 논문지 제29권 제6호
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    This paper proposes a new electrical variable capacitor (EVC) circuit that uses fast recovery diodes. The proposed circuit addresses the shortcomings of conventional EVC circuits, such as the use of PiN diodes and the high voltage stress on semiconductor components, leading to significant cost reductions. The effectiveness of the proposed EVC circuit is verified through experiments conducted at an RF power frequency of 13.56 MHz and an RF power of 1.8 kW.
    #Electrical Variable Capacitor (EVC) #RF Plasma #Semiconductor Manufacturer System #Fast Recovery Diode

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