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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2025.1
- 수록면
- 43 - 53 (11page)
- DOI
- 10.3795/KSME-B.2025.49.1.043
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반도체 공정에 사용되는 사불화탄소(CF₄)는 지구 온난화 지수가 높고 안정적인 물질로 제거에 많은 에너지를 요구한다. 이를 위해, 플라즈마와 고정층 촉매를 결합한 스크러버 기술이 개발된 바 있으나 플라즈마 열에 의한 촉매 내구성 문제가 존재한다. 열적 안정성을 향상시키고자 이 연구에서는 유동층 촉매반응기를 적용한 CF₄ 제거 기술에 대한 연구를 수행하였다. 고정층과 유동층 촉매반응기에 대한 반응기 내부 온도분포와 CF₄ 제거율을 확인하고, 에너지 효율을 분석하였다. 그 결과, 회전 아크-유동층 촉매 반응기 조합은 촉매 비활성화 없이 공간적으로 안정적인 온도분포를 확인할 수 있었다. 또한, CF₄ 제거율과 에너지 효율은 각각 91%와 28.0 g/kWh이었으며, 에너지 효율은 기존 플라즈마 단독으로 적용된 스크러버 성능 대비 약 2.8배 높은 결과를 확인하였다. 따라서 유동층 반응기를 적용하여 높은 열적 안정성을 확보한 플라즈마-촉매 방식의 스크러버 개발을 기대할 수 있다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 반응기 설계 및 실험 방법
3. 결과 및 논의
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (0)
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