반도체 클린룸 공조시스템의 현황 및 미래

Q: 이 논문에서 정의한 클린룸이란 무엇인가?

클린룸은 공기 중의 먼지, 온도, 습도, 압력, 케미컬, 미세입자, 기류, 정전기, 소음, 진동 등이 요구되는 수준으로 제어되는 공간이다. 특히 반도체 산업용 클린룸은 제품의 초정밀화, 고순도화, 고도화에 따라 수율과 성능 향상을 위해 점점 더 높은 청정도를 요구한다.

Q: 미래 반도체 클린룸 공조 시스템은 어떤 방향으로 발전할 것인가?

결론적으로, 미래 클린룸 공조는 클린룸 전체를 고청정화하기보다 제조 공정에 따라 필요한 최적의 청정도를 설정하고, FFU를 최적 배치하여 고청정이 필요한 국소 영역만 선택적으로 공조를 강화하는 방식으로 발전할 것이다. 이는 에너지 및 비용 절감에 기여할 것으로 예상된다.

동혜원; 조재근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 동혜원 (삼성전자) 조재근 (삼성전자)

저널정보: 대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2024년도 동계학술발표대회 논문집

발행연도: 2024.11

수록면: 228 - 230 (3page)

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The purpose of this paper is to investigate the past and present of air conditioning system for industrial cleanroom and examine the future of it, which is one of the most important factor for clean room. The semiconductor industry is a highly technology-intensive industry, and the required conditions for clean rooms have also been strengthened. The fan filter unit(FFU), which can flexibly change layout according to rapid product development and maintain a highly clean envi ... 전체 초록 보기

#Air Conditioning(공조) #Cleanroom(클린룸) #Semiconductor(반도체) #Fan Filter Unit(팬필터유닛) #Outdoor Air Conditioner(외기조화기)

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