화학종 첨가를 통한 고감도 진공 누설 감지용 Self-Plasma Optical Emission Spectroscopy 연구

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#유도 결합 플라즈마(Inductive Coupled Plasma) #자가 플라즈마 광 방출 분광법(Self Plasma Optical Emission Spectroscopy) #진공 누설 감지(Vacuum Leak Detection)

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