Preparation and characterization of activated carbons with optimal pore range for CF₄ adsorption

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#Activated carbon #Semiconductor process gas #Perfluorocarbons #Adsorption

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H. M. Lee

소속기관 한국탄소산업진흥원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

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