스트로보 효과를 이용한 마이크로 블레이드의 공구 감시 시스템 개발

Q: 이 논문에서 정의한 공구 감시 시스템이란 무엇인가?

공구 감시 시스템은 반도체 다이싱 공정에서 다이아몬드 블레이드의 멜림, 마모 등 상태를 실시간으로 모니터링하여 가공 품질 저하를 예방하고 정밀도와 효율을 향상시키는 시스템이다. 스트로보 효과와 위상 변이 기법을 활용하여 블레이드의 윤곽 및 편마모 상태를 정밀하게 감지한다.

Q: 스트로보 효과를 이용한 공구 감시 시스템의 핵심 기능은 무엇인가?

연구 결과, 스트로보 효과를 이용한 공구 감시 시스템은 LED 출력을 블레이드 회전 속도에 동기화하여 정지한 것처럼 보이는 이미지를 획득한다. 이를 통해 이미지 처리 기술로 블레이드의 윤곽과 멜림, 편마모 상태를 실시간으로 정밀하게 감지하여 공구의 점진적 마모를 파악한다.

황지홍; 임세현; 신민섭; 홍석재; 김지은

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 황지홍 (서울과학기술대학교) 임세현 (서울과학기술대학교) 신민섭 (서울과학기술대학교) 홍석재 (서울과학기술대학교) 김지은 (서울과학기술대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2024 한국생산제조학회 추계학술대회

발행연도: 2024.12

수록면: 357 - 357 (1page)

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반도체 제조 공정 중 다이싱(Dicing) 공정은 웨이퍼를 개별 칩으로 절단하는 중요한 가공 공정으로, 다이아몬드 블레이드가 고속으로 회전하며 작업을 수행한다. 이 때, 블레이드의 상태는 가공 공정의 정밀도와 효율에 큰 영향을 미친다. 특히 떨림이나 마모가 발생할 경우, 가공 품질이 저하될 수 있다. 이를 예방하기 위해 실시간으로 블레이드의 상태를 감시하는 공구 감시(TCM, Tool Condition Monitoring) 시스템의 도입이 필수적이다. 본 연구에서는 스트로보 효과와 위상 변이 기법을 사용하여 고속 회전하는 블레이드의 상태를 실시간 모니터링하는 공구 감시 시스템을 개발하는 것을 목표로 한다. 이 시스템은 LED 출력의 펄스 주파수를 블레이드 회전 속도에 동기화 시켜 ... 전체 초록 보기

#Micro blade #Strobe effect #Vibration #Uneven wear

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