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저자정보
이공인 (부산대학교) 주태성 (부산대학교) 양서진 (부산대학교) 송세환 (부산대학교) 김지웅 (부산대학교) 박성균 (부산대학교) 김은영 (전북대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제69권 제11호
발행연도
2019.11
수록면
1,135 - 1,140 (6page)

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DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>(0001) 기판 위에 증착 온도 (RT, 100, 200, 300, 400, 500, 600<sup>◦</sup>C)에 따라 Co 박막을 제작하였다. 200<sub>◦</sub>C 이상에서 증착된 박막은 X-선 회절 측정 (ω/2θ 측정) 으로부터 결정성을 확인할 수 있었다. 또한, 증착 온도가 증가함에 따라 향상된 결정성으로 인한 mosaicity의 감소도 ω-rocking 측정으로부터 확인할 수 있었다. 하지만, 성장된 결정면으로부터 hcp- 또는 fcc-Co상을 명확하게 구별하기 어려웠다. 자기-광학 Kerr 효과를 이용한 면 방향 자화 측정으로부터 높은 결정성을 갖는 박막은 보자력의 이방성을 가지는 것을 확인하였다. 반면, 포화자화값은 증착온도가 증가할수록 증가하였다. 따라서 포화자화값 증가는 결정성 향상과 상관관계가 높은 것으로 여겨진다.
#Cobalt #증착온도 #결정성 #자기이방성 #Cobalt #Deposition temperature #Crystallinity #Magnetic anisotropy

목차

I. INTRODUCTION
II. EXPERIMENTS
III. RESULTS and DISCUSSION
IV. SUMMARY
REFERENCES

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