인문학
사회과학
자연과학
공학
의약학
농수해양학
예술체육학
복합학
DBpia AI
AI 에이전트
AI 아이디어
AI 리더
AI 뷰어
Citeasy
크롬 서지관리 다운로드
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
본 연구에서는 RF 스퍼터링 시스템으로 증착한 MgZnO 박막의 증착 파워에 따른 박막 형성 특성을 파악하였다. Mg<sub>0.3</sub>Zn<sub>0.7</sub>O 타겟을 이용하여 150 W, 200 W, 250 W, 300 W의 파워로 박막을 제작하였다. XRD 결과에서 증착 파워가 올라갈수록 MgZnO의 hexagonal (002) 방향 결정성이 높아지는 반면, 300 W에서는 MgO (200) 결정성이 나타나기 시작하면서 MgZnO (002) 결정성은 급격히 축소되었다. 또한 250 W까지 증착 파워가 증가할수록 Zn2<sub>p3</sub> 의 결합 에너지가 pure ZnO의 결합에너지에 근접하였고, 이는 증착 파워 증가에 따라 ZnO 결정성이 좋아짐을 의미한다. 하지만 결정성이 좋아지면서 전자를 내놓을 산소 공공(oxygen vacancies)이 감소하여 전자 농도, 이동도(Mobility)와 전기전도도의 감소로 이어지는 것을 홀 측정으로 확인하였다.
#MgZnO
#RF magnetron sputtering
#X-ray photoelectron spectra
#Oxygen vacancies
#RF 마그네트론 스퍼터링
#X선 광전자 분광법
#산소 공공
상세정보 수정요청해당 페이지 내 제목·저자·목차·페이지정보가 잘못된 경우 알려주세요!
목차
- I. 서론
- II. 실험
- III. 결과
- IV. 결론
- REFERENCES
참고문헌
참고문헌 신청최근 본 자료
UCI(KEPA) : I410-151-25-02-092355620
