주사전자현미경(SEM)과 전자후방산란회절(EBSD)의 구조, 원리, 그리고 미세조직 분석 활용

진민수; 최벽파

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자료유형: 학술저널

저자정보: 진민수 (한국과학기술원) 최벽파 (한국과학기술원)

저널정보: 한국세라믹학회 세라미스트 세라미스트 제28권 제2호

발행연도: 2025.6

수록면: 257 - 270 (14page)

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This paper provides an overview of Scanning electron microscopy (SEM) and Electron backscatter diffraction (EBSD). SEM is an imaging technique that uses a focused electron beam to analyse the surface morphology, chemical composition, and crystallographic characteristics of materials in high resolution. EBSD analyses Kikuchi patterns and enables the extraction of detailed information such as crystallographic orientation, grain boundaries, texture, and local deformation. This work will deliver both theoretical principles and practical applications of SEM and EBSD technologies.

#Electron backscatter diffraction (EBSD) #Microstructure chracterisation #Scanning electron microscopy (SEM)

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