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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한양대학교 청정에너지연구소 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제4권 제3호
- 발행연도
- 2003.9
- 수록면
- 115 - 117 (3page)
이용수
초록· 키워드
Nanometer scale multilayers have been fabricated by pulsed double-cathodic arc deposition with varying thickness of eachlayer from a few to nanometers and examined by cross-sectional transmission electron microscopy. Computer simulations wereperformed to obtain a better understanding at least of the nano-scale deposition of multilayers during the cathodic arcdeposition process and for comparison with the experimental results. The experimental results are in good agreement withthose of simulations suggesting that the limit of the bilayer period of the ultra-thin multilayers is about 3 nm.
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