Surface treatment of Indium Tin Oxide (ITO) thin films synthesized by chemical solution deposition

최성철; 윤영훈; Jin-Woo Choi

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최성철 (한양대학교) 윤영훈 (한양대학교) Jin-Woo Choi

저널정보: 한양대학교 청정에너지연구소 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제5권 제4호

발행연도: 2004.12

수록면: 395 - 398 (4page)

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Indium tin oxide (ITO) thin films were synthesized on glass substrates by chemical solution deposition from starting materials of Indium (III) acetylacetonate and Tin (IV) iso-propoxide. The ITO films were fired in a temperature range of 400 oC to 600 oC and annealed under N2 gas at 500 oC. The effects of surface chemical treatment on the sheet resistance of ITO filmswere investigated with AFM surface morphology and sheet resistance. The spin-coated ITO thin films, which was etched withKOH solution for 20 seconds, exhibited a sheet resistance value of approximately 352 Ω/square. The AFM surface morphologies of ITO thin films revealed a difference of surface roughness and morphology between the as-received films and the etched films. Also, ITO thin films showed an optical transmittance of about 90% in the range of 800 nm.

#Indium tin oxide (ITO) thin films #Chemical solution deposition #Sheet resistance #Surface treatment

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