Synthesis and crystallization of fine Sic-Si3N4 composite powders by a vapor phase reaction

Myoung-GiSo; Jae-MoonChoi; Dae-JungKim; Hyoung-InKim

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저자정보: Myoung-GiSo (Kangwon National University) Jae-MoonChoi (Kangwon National University) Dae-JungKim (Kangwon National University) Hyoung-InKim (Kangwon National University)

저널정보: 한양대학교 청정에너지연구소 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제3권 제2호

발행연도: 2002.6

수록면: 82 - 85 (4page)

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In this study, ultra-fine SiC-Si3N4 composite powders were synthesized by a vapor phase reaction using TMS (Tetramethylsilane:Si(CH3)4, NH3, and H2 gases at reaction temperatures 1000~1200oC and with input ratios (NH3/Si(CH3)4) 1~3.XRD and TEM were used to analyze the crystalline phases and the average particle sizes of the synthesized composite powders.It was found that the powders obtained under the conditions choosen were all amorphous and spherical with a particle sizeof about 70~130 nm. The particle size was kept constant regardless of the input ratio, but it decreased with increasing reactiontemperature. From the results of FT-IR and EA analysis, it was found that the synthesized powders had been formed fromcompounds composed of Si, N, C and H. After the synthesized composite powders of different input ratios were heat-treatedfor 2 hours at 1550oC in a N2 atmosphere, crystalline b-SiC, a-Si3N4 and b-Si3N4 phases coexisted in the case of a low inputratio, while only the crystalline a-Si3N4 phase appeared in the case of a high input ratio.

#Ultra-fine composite #a-SiC #b-Si3N4 #a-Si3N4 #Chemical Vapor Deposition (CVD)

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