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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2025.12
- 수록면
- 646 - 651 (6page)
이용수
초록· 키워드
미세전자기계시스템(MEMS) 스위치는 기계적 접촉을 통해 전기 신호를 제어하므로 누설 전류가 0에 가깝고 전력 소모가 매우 낮다. 또한, 정전기 구동 방식을 기반으로 하기 때문에 고온, 극저온, 방사선, 충격 및 진동 등 극한 환경에서도 전하 트래핑 현상에 둔감한 특성을 보인다. 이러한 이유로 MEMS는 차세대 우주용 전자 소자의 유망한 후보로 주목받고 있다. 그러나, 우주 환경에서는 방사선에 의한 손상이 소자의 주요 열화 요인으로 MEMS 소자를 구성하는 재료의 내방사선 특성을 평가하는 것이 필수적이다. 본 연구에서는 MEMS 스위치의 구조 및 접촉 재료로 널리 사용되는 몰리브데넘(Mo)과 백금(Pt) 박막을 대상으로 100 MeV 고에너지 양성자 조사 전후의 구조적ㆍ화학적 변화를 분석하였다. 본 연구 결과는 극한 환경용 MEMS 소자의 내방사선 신뢰성 확보 및 재료 설계 지침 수립을 위한 기초 데이터를 제공할 것으로 기대된다.
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목차
- Abstract
- 요약
- Ⅰ. 서론
- Ⅱ. 본론
- Ⅲ. 결론
- References
참고문헌
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