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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2026.6
- 수록면
- 295 - 300 (6page)
- DOI
- 10.3795/KSME-B.2026.50.6.295
이용수
초록· 키워드
반도체 제품 품질 안정성, 제품 수율, 제품 성능을 보장하기 위해 가장 중요한 것이 센서 기반 계측학이며 현재 반도체 산업에서는 정적인 신호 역치 값을 이용하여 이상 유무를 판단한다. 그러나 정상을 이상으로 잘못 판정하는 false alarm이 빈번하게 발생하고, 정확한 이상 감지를 위한 인공지능 알고리즘은 연구되고 있지만 이들은 공통적으로 매우 복잡한 알고리즘을 가져 메모리 할당량이 크며 1 epoch당 연산 시간이 길어 현업 적용이 힘든 한계점을 가지고 있다. 본 연구는 여러 개의 센서를 이용하는 간단한 반도체 이상 감지 알고리즘을 개발해 27 K의 적은 파라메터를 사용하면서도 평균 이상 판정 F1 score 91.67%, 1 epoch 당 학습 시간 10 ms 이하 성능을 달성했다.
#Artificial Intelligence(인공지능)
#Multivariate Analysis(다변량 분석)
#Memory-Efficient Algorithms(메모리 효율적 알고리즘)
#Anomaly Detection(이상 감지)
#Semiconductor(반도체)
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목차
- 초록
- Abstract
- 1. 서론
- 2. 실험 방법
- 3. 결과 및 고찰
- 4. 결론
- 참고문헌 (References)
참고문헌
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